より高品質、高性能な薄膜作製に欠な薄膜の測定・評価技術を網羅したハンドブック！
物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいか？これまでさまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に網羅！第Ⅰ部では薄膜の形状、膜厚、構造、組成・結合状態といった基本事項の評価技術、第Ⅱ部では電気、磁気、光学、化学など手法別にまとめた薄膜の物性評価や熱物性評価、第Ⅲ部ではLSI、半導体パワーデバイス（欠陥評価とデバイス特性）、LED照明、薄膜太陽電池、薄型ディスプレイ、薄膜磁気メモリ、有機薄膜デバイス、バイオセンサなど薄膜の応用現場における評価事例を詳しく解説！また、有機薄膜についても各部で別に項を設けて詳述！ 薄膜を評価する際の道しるべに最適のハンドブック！
ノークレーム、ノーリターンでお願いいたします。